클린 FA
멈추지 않는 공장을 지원합니다
반도체는 이제 사회에 없어서는 안 될 존재가 되었습니다
수백가지 공정을 거쳐 매우 깨끗한 환경에서 생산됩니다
Muratech의 반도체 공장 운송 시스템은
천장 운송은 공간을 활용하여 프로세스 간 운송 효율성을 극대화합니다
24시간 365일 가동되는 반도체 공장에 필요
높은 신뢰성을 달성합니다
여러 프로세스를 연결하는 반도체 공장의 운송 시스템에는 높은 신뢰성과 안정성이 필요합니다
이를 가능하게 하는 것은 유도차량의 운용 성능뿐만 아니라 실시간으로 최적의 경로를 도출하는 혼잡회피, 다수의 유도차량을 최적으로 배치하는 그룹제어 등 첨단 시스템 제어 기술입니다
또한 긴급 상황 발생 시 복원력과 안전을 보장하는 시스템도 제공합니다
OHT
AGV
OHT(천정 무인운반차), AGV(무인운반차), HTC(컨베이어 컨베이어)
캐리어 보관 스토커
베어 웨이퍼 스토커
캐리어 스토리지 스토커, 베어 웨이퍼 스토커, OHB 궤도 버퍼, 장비 앞 FOUP 버퍼, N2 퍼지
MCS(자재관리시스템), MDS(MCS 파견시스템)
운송 시스템의 핵심인 오버헤드 트롤리(OHT)는 광대한 공장 내 공정을 연결하고, 반도체 소재인 웨이퍼를 특수 컨테이너(FOUP)에 담아 바닥과 건물을 잇는 레일 위에 올려 운반합니다 각 공정의 제조 진행 상황에 따라 작동하는 스토커, 버퍼 등의 저장 장치를 결합하여 최적의 생산 라인을 구축합니다
