스토리지 시스템 버퍼(장비)

캐리어 보관 스토커

제조 장비의 처리 완료 시점과 다음 공정 제조 장비의 처리 시작 시점 사이의 차이를 흡수하기 위한 클린룸의 임시 저장소입니다

◼︎클린 스토커 [CDS350-M3]

・높은 신뢰성 및 향상된 사이클 시간

・유지관리성 개선

・듀얼 크레인 수용 가능

・컨베이어를 사용한 복잡한 포트 구성 지원

◼︎타워 스토커 [TW3]

・층 간 이동

・고속 리프팅

・단시간 설치

・컨베이어를 사용한 복잡한 포트 구성 지원

OHB(오버 헤드 버퍼) 궤도 버퍼

OHT 트랙 아래 또는 위에 설치된 FOUP용 임시 보관 선반입니다 FOUP은 상시 접근이 가능하며, 차량을 여러 장소로 분산이동이 가능하여 이동시간이 짧고 교통체증이 없습니다 빈 공간에 보관하므로 바닥 공간이 필요하지 않으며 스토커의 용량을 줄일 수 있습니다

장치 툴 스테이션 TS300 앞의 FOUP 버퍼

◼︎기기 전면에 개조 가능한 FOUP 버퍼로 생산 병목 현상 해결

제조 장비의 로드 포트 위에 설치되는 완충 장치입니다
툴 스테이션은 SEMI 표준 E151을 준수하는 한 새로운 라인이나 기존 라인에 설치할 수 있습니다
제조 장비와 가장 가까운 위치에 캐리어(FOUP)를 버퍼링하고 장비마다 독립적인 이송 장치를 설치함으로써 가공 후 FOUP 제거부터 다음 공정에 FOUP 공급까지 소위 "FOUP 교체 시간"을 단축하고, 짧은 검사 시간으로 검사 장비의 가동률 향상을 목표로 합니다

◼︎TS300

・4열 x 3레벨 버퍼의 임시 저장(최대)

・N2 퍼지 호환(선택 사항)

・유지 관리 중에 각각 10분 이내에 쉽게 제거하고 다시 설치할 수 있습니다

◼︎TS300 시스템 사양

주기 시간	15초
저장 개수	4〜12 FOUP
표준 설치 조정 시간	360분
기기 수정	적음(기기 구조에 따라 다름)

N2 퍼지

공정의 소형화로 인해 공정간 산화, 습기, 주변 대기로 인한 품질 영향에 대한 대책이 필요하며, N2 퍼지는 스토커/버퍼 장비에 쉽게 개조할 수 있습니다 N2 퍼지는 공정 단계 사이의 시간 제한을 완화하고 수율 손실을 방지할 수 있습니다

베어 웨이퍼 스토커 CDWX

◼︎특수한 경우(셀)에 웨이퍼를 고밀도로 보관

CDWX는 FOUP에서 웨이퍼를 꺼내어 특수 케이스(셀)에 고밀도로 보관하는 시스템입니다 웨이퍼는 핸들링 로봇을 이용해 특수 링에 하나씩 배치되며, 25개의 링이 선반에 하나의 셀로 보관된다 링 형태를 고안함으로써, 보관 시 셀 내부의 웨이퍼 간격은 약 37mm로, 웨이퍼 운반용기인 FOUP(웨이퍼 간격=10mm)에 비해 더 높은 밀도의 보관이 가능하다

◼︎CDWX의 특징

링에서 웨이퍼를 로드하거나 언로드할 때 셀은 링의 상단 및 하단 피치를 확장하고 작업 완료 후 셀 피치를 원래 피치로 되돌려 로봇 취급에 따른 사용 편의성과 보관 중 공간 절약을 모두 달성합니다

고밀도 저장

FOUP에 비해 웨이퍼 피치가 약 60% 감소

높은 청결도

최소 공간에서 이상적인 웨이퍼 보관 환경(클린/퍼지) 달성

유지관리성

장비가 작동하는 동안 교환 포트에서 웨이퍼 셀을 배송할 수 있습니다

출하된 웨이퍼 셀을 특수 지그에 넣고 FOUP 세척 기계로 세척할 수 있습니다

유연한 시스템 사양