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운송 장치(OHT, VT)
AMHS 청소
운송 장치(OHT, VT)
이것은 천장에 설치된 트랙을 주행하며 벨트 드라이브로 상하로 이동하는 호이스트 메커니즘을 사용하여 저장 시설 및 제조 장비의 로드 포트에 직접 접근하는 자동 운송 장치입니다OHT는 Overhead Hoist Transport의 약자입니다 300mm 반도체 공장 이상 주요 운송 시스템으로 널리 인정받고 있으며, 현재는 공정 내 운송은 물론 공정 간, 공장 간 운송에도 활용되고 있습니다
다관절 로봇 팔이 장착된 이것은 바닥에서 작동하며 저장 시설 및 제조 장비에 직접 접근할 수 있는 자동 운반 장치입니다AGV는 Automated Guided Vehicle의 약자입니다 고정밀 내비게이션 시스템을 통해 로봇은 복잡한 경로를 유연하게 탐색하고 캐리어를 제조 장비 등으로 운송할 수 있습니다
이것은 대량의 FOUP를 처리할 수 있는 컨베이어 시스템입니다 유닛의 조합으로 인해 레이아웃의 자유도가 높으며 OHT 및 수직 컨베이어에도 연결할 수 있습니다 또한 모든 캐리어의 위치를 지속적으로 모니터링하여 캐리어 손실을 방지합니다
