사업 이력

물류시스템부(현 L&A사업부) 내에 청정기술부 신설

'스카이랩 클린' 개발 클린룸 반송장비 분야 진출

다관절 로봇을 탑재한 무인유도차량 '이동 로봇' 개발

LCD 패널 공장 운송 시스템 납품

클린시스템 사업부 설립

독일 반도체 제조업체로부터 세계 최초의 300mm 웨이퍼 생산 라인 이송 시스템 주문을 받았습니다

물류시스템 사업부와 클린시스템 사업부가 통합되어 L&A 사업부 설립

Shinko Electric(현 Symphonia Technology)의 클린룸 반송 시스템 사업이 독립하여 미국의 Assist Technologies와 협력하여 'Assist Shinko Co, Ltd'를 설립

OHT "SRC 시리즈" 개발 시작

Assist Technologies Japan Co, Ltd로부터 사업 인수 Clean System Division과 합병하여 온라인 카지노 사이트 Automation Co, Ltd 설립

장비 전면에 FOUP 버퍼 “TS300” 도입

Muratech Automation Co, Ltd가 Murata Machinery에 통합되어 Clean FA 사업부 설립

이누야마 공장에 실험/전시관 "테크노 스퀘어" 완공

OHT(천정 무인운반차) "G3-3X" 출시

OHT(천정자동운반차) “SRC-350X” 출시

이세 사무소 이전

베어 웨이퍼 스토커 “CDWX” 출시

패널 FOUP OHT 출시