운송장치[운송관제/관리시스템]

반도체 공장 내 운송 및 보관 장비를 중앙에서 제어하는 자동 운송 장비 통합 관리 시스템입니다

 

MCS(자재 제어 시스템)
공장 내 모든 종류의 운반 및 보관을 위한 다양한 운반 장치를 지시하고 시스템 내에서 운반된 품목을 추적하는 등 고객의 다양한 요구에 유연하게 대응합니다

 

MDS (자재 발송 시스템)
 [MES에는 여러 FAB가 하나로 표시됩니다]
 ・MES에서 각 MCS로 전송 요청을 분배하는 역할
・각 MCS의 보고를 중계하여 MES에 보고
 [건물 간 교통]
 ・MES는 각 MCS를 인지하지 못한 채 운송을 요청할 수 있습니다
 ・다수의 건물 간 연결 경로를 선택하여 MCS 간 이동이 가능합니다
 ・건물 간 운송을 위해 추가적인 MES 설치나 운송업체 정보 전송이 필요하지 않습니다
 [시스템 간 통신]
・CORBA 통신을 이용하여 MES 이하 MCS와 연결


MCS