제품 정보
- 운송 장치
- 저장/버퍼 장치
- 캐리어 보관 스토커
- 베어 웨이퍼 스토커
- OHB 궤도 버퍼
- 기기 앞의 FOUP 버퍼
- N２제거
- 운송 통제/관리 시스템
운송 장치[저장/버퍼 장치]
베어 웨이퍼 스토커 CDWX
웨이퍼는 특수한 경우(셀)에 고밀도로 저장됩니다
| CDWX는 FOUP에서 웨이퍼를 꺼내어 특수 케이스(셀)에 고밀도로 보관하는 시스템입니다 웨이퍼는 핸들링 로봇을 이용해 특수 링에 하나씩 배치되며, 25개의 링이 선반에 하나의 셀로 보관된다 링 형상을 고안함으로써, 셀 내 보관 시 웨이퍼 사이의 간격이 약 37mm로, 웨이퍼 운반용기인 FOUP(웨이퍼 간격=10mm)에 비해 더 높은 밀도의 보관이 가능하다 |
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CDWX의 특성
링에서 웨이퍼를 설치하거나 제거할 때 셀은 상하 피치로 확장되며 작업이 완료된 후 셀의 피치가 원래 피치로 돌아가므로 핸들링 로봇과 함께 사용하기가 더 쉽고 보관 공간이 더 절약됩니다 |
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고밀도 저장소 FOUP에 비해 웨이퍼 피치 약 60% 감소 |
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높은 청결도 최소 공간에서 이상적인 웨이퍼 보관 환경(클린/퍼지) 달성 |
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유지관리성 장비가 작동하는 동안 교환 포트에서 웨이퍼 셀을 배송할 수 있습니다 |
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| 출하된 웨이퍼 셀을 특수 지그에 넣고 FOUP 세척 기계로 세척할 수 있습니다 |  |
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유연한 시스템 사양 |  |
CDWX시스템 사양
| 바닥면적 | 약 98m² |
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| 보관된 시트 수 | 1,725~4,325장(최대 20,825장) |
| 기계 치수 | W: 3,038mm(최대 10,200mm)D: 3,226mm H: 3,150mm(최소) - 4,490mm(최대) *FFU 포함 |