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운송 장치[저장/버퍼 장치]

장치 툴 스테이션 TS300 앞의 FOUP 버퍼

기기 앞에 새로 장착할 수 있는 FOUP 버퍼로 생산 병목 현상 해결

이것은 제조 장비의 로드 포트 위에 설치되는 완충 장치입니다
툴 스테이션은 SEMI 표준 E151을 준수하는 한 신규 라인이나 기존 라인에 설치할 수 있습니다
제조 장비와 가장 가까운 위치에 캐리어(FOUP)를 버퍼링하고 장비마다 독립적인 이송 장치를 설치함으로써 가공 후 FOUP 제거부터 다음 공정에 FOUP 공급까지 소위 "FOUP 교체 시간"을 단축하고 짧은 검사 시간으로 검사 장비의 가동률을 향상시키는 것을 목표로 합니다

TS300

• 4열 x 3단 버퍼의 임시 저장(최대)
• N₂삭제 가능(선택 사항)
• 유지 관리 중에 쉽게 제거하고 다시 설치할 수 있으며 각각 10분 미만이 소요됩니다

TS300 시스템 사양

주기 시간	15초
저장 개수	4〜12 FOUP
표준 설치 조정 시간	360분
장치 수정	적음(기기 구조에 따라 다름)