제품 정보
운송 장치[저장/버퍼 장치]
N2제거
공정의 소형화에 따라 공정 단계 사이의 산화, 습기, 주변 대기로 인한 품질 영향에 대한 대책이 필요하므로 N은 스토커 및 버퍼 장비의 개조가 용이합니다2제거가 있습니다 아니2퍼지는 프로세스 단계 사이의 시간 제약을 완화하고 수율 손실을 방지할 수 있습니다
- 레시피 지침에 따른 유량 제어 (원격설정 가능)
- 우리는 여러 FOUP 제조업체와 거래한 실적이 있습니다
- 사전 퍼지 기능으로 품질을 유지합니다
- 자체 제작한 노즐로 높은 효율의 퍼지를 실현합니다 (퍼지 효율 90% 이상)
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