우리 카지노 웨이퍼 검사 장치

정확도가 높은 웨이퍼 평탄도 및 모양 측정

평탄도 미터 범위는 선 스캔 유형 (SBW 시리즈)에서 사이트 평탄도를 측정 할 수있는 LSW 시리즈 (LSW) 및 나노 탑 측정 기능이 장착 된 선적 검사를위한 LNSW 시리즈에 이르기까지 다양합니다

딜러 :Kobelco Kaken Co, Ltd

측정 예

제품 라인업

SBW 시리즈

기능

• 고유 한 측정 방법을 사용하면 간단한 구조로 고정밀 두께, 활 및 날실 측정을 허용합니다
• 측정 목표에 따라 커패시턴스 방법 또는 레이저 변위 미터 방법과 같은 선택할 수 있습니다

용도

• 웨이퍼 평탄도 및 슬라이스 후 뒤틀림, 분쇄, 에칭, 연마 후 웨이퍼 평탄함을 제어합니다

LSW, LNSW 시리즈

기능

• 독점적 인 초고속 헤테로디노 간섭계는 하위 나노의 재현성을 달성합니다
• 글로벌 평탄도 (GBIR 등), 사이트 평평성 (SFQR 등), 활 및 날을 측정 할 수 있습니다
  LNSW는 나노 토 그래프를 측정 할 수 있습니다

use

• 연마 후 고정밀 평탄도 측정, 운송 검사

평탄도 미터 제품 목록

사용한 광학 이미지 처리 기술을 사용하여 정확도가 높은 에지 노치 모양을 측정

LEP Series는 접촉없이 웨이퍼의 모따기 모양, 너비, 지름, 두께, 노치 모양 등을 자동으로 측정합니다 이 외에도, EMB 시리즈는 웨이퍼 본딩 오정렬을 측정하는 반면, LEI 시리즈는 치핑을 검사합니다

딜러 :Kobelco Kaken Co, Ltd

측정 예

제품 라인업

LEP 시리즈

기능

• 고유 한 알고리즘은 에지 모양의 고정밀 측정을 허용합니다

use

• 품질 점검, 배송 검사, 처리 기계의 성능 점검 등

EPB 시리즈

기능

• 가장자리 측정 기술 및 노치 위치 측정을 통해 정렬 마크없이 웨이퍼의 결합 및 오정렬을 측정 할 수 있습니다

용도

• 붙여 넣기 과정에서의 검사 등

Lei Series

기능

• 고감도 라인 스캔 카메라를 사용하여 전체 웨이퍼에 미세한 이미지를 저장하도록 만들었습니다

use

• 웨이퍼 가장자리에서 생성 된 칩, 균열, 스크래치 감지 및 통과/실패 판단

가장자리 검사 관련 장비 제품 목록

운송 업체 재조합 수명 측정

수명은 샘플에 혼합 된 오염 및 결정 결함을 예리하게 반영하는 중요한 매개 변수입니다

딜러 :Kobelco Kaken Co, Ltd

측정 예

웨이퍼 오염으로 인한 수명 값 감소 (파란색 부품)

제품 라인업

LTA 시리즈

기능

• 레이저에 의해 샘플에 주입 된 캐리어의 시간적 변화는 반사 된 전자 레인지의 전력 (μ-PCD 방법)을 사용하여 감지됩니다
• 차동 μ-PCD 방법을 사용하여 저항성 기판이 낮은 EPI/확산 웨이퍼의 수명을 측정 할 수 있습니다

use

• SI/SIC : 연마, 청소, 산화, 확산 과정 등의 오염 및 결함 이해, 대량, 에피, 에피소드, SOI 웨이퍼 등의 오염 및 결함 이해

평생 측정 장비 제품 목록

명확한 이미지로 거울 표면에 생성 된 미세한 불균일을 보여줍니다

Magic Mirror의 원리를 사용하는 MIS 시리즈는 웨이퍼 표면 모양의 이상을 쉽게 감지 할 수 있습니다

딜러 :Kobelco Kaken Co, Ltd

측정 예

제품 라인업

MIS 시리즈

기능

• 약간의 돌출부, 오목, 거친 표면, 기복, 단계, 에지 치핑 등은 모니터의 음영 이미지로 관찰 될 수 있습니다
• 이미지 처리를 통해 자동 결정도 이용할 수 있습니다

용도

• 웨이퍼 제조 공정에서 거친 표면, 돌출부, 움푹 들어간 곳, 연마 자국, 가장자리 치핑 등의 관찰

  예제) 후 그라인딩 후 검사 (연마/빠른 측정 속도, 모든 장치를 쉽게 검사하기 쉬운 웨이퍼 감지)

매직 미러 시스템 제품 목록